近期,国内气体传感器厂商汉威科技收购嘉兴市纳杰微电子技术有限公司(简称:纳杰微)51%股份,纳杰微主要从事MEMS芯片的设计、制造、封测业务,纳杰微持有浙江芯动科技有限公司(简称:芯动科技)45.45%股份,芯动科技拥有6英寸MEMS晶圆代工厂,工艺能力涵盖MEMS芯片生产全过程,主要生产压力传感器、加速度计、陀螺仪,MEMS微镜和生物医学等MEMS产品。此举,意味着汉威科技向智能传感器上游——MEMS代工厂进发。
纳杰微通过自主创新以MEMS器件为主要核心,为客户定制倾角测量、振动检测、平台稳定和惯性测量单元标定(IMU)等应用技术为基础,不断开拓进取。在AGV机器人(分检,叉车)、巡检机器人、高铁、石油地质测斜等应用领域开发了大量高端产品和客户定制方案。
芯动科技拥有1000平米超净室,其中光刻区、键合区共150平米,净化等级为十级,刻蚀区、扩散区、薄膜区共850平米,净化等级为百级,是目前国内少数百级、十级洁净室,在高端MEMS传感器制造厂房中属先进水平,拥有完整的MEMS工艺设计、加工平台,可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。
汉威科技表示,MEMS传感器应用空间愈发广阔,收购纳杰微是根据公司发展战略,围绕产业链上下游,掌握上游关键产业环节进行的投资并购。公司投资进军上游MEMS晶圆制造,可以与MEMS封测线形成上下游配套,掌握完整产业链。