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总投资370亿!国内第一条12英寸MEMS量产线正式投产
来源: 芯传感  浏览次数:1518  发布时间:2024-07-02

6月28日,广州增芯科技有限公司12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目(以下简称“增芯项目”),在广州增城开发区举行投产仪式,中国国内第一条12英寸MEMS量产线正式投产。


据官网介绍,增芯项目由广州智能传感器产业集团发起,于2021年4月成立,定位为国内第一家专业定制化12英寸传感器晶圆厂,针对智能化、微型化等物联网应用领域中的核心器件(如力学、声学、微流控、生物等传感器件及配套ASIC芯片等),打造集研发、量产制造、封测与应用一体的先进制造平台,产品包括三大类工艺产品MEMS、BCD及逻辑工艺,对广州市及广东省的集成电路产业发展具有重要意义。


对于建设计划,增芯科技按照“一次规划、分步实施”原则,计划用5年时间投资370亿元,在广州市增城区建设两座智能化晶圆厂,总产能达到12万片/月。


其中,增芯项目第一座晶圆厂(FAB1)分两期,第一期产能2万片/月,总投资70亿元;第二期产能4万片/月,总投资100亿元;第二座晶圆厂(FAB2)为第三期,产能6万片/月,总投资200亿元。第一座晶圆厂预计2026年满产,第二座晶圆厂预计2027年满产。


2022年12月14日,增芯项目一期第一阶段项目正式开工建设,批复投资70亿元人民币,建设月加工2万片12英寸的MEMS晶圆制造量产线。


6月28日,增芯项目投产活动举行,中国第一条12英寸MEMS量产线进入生产阶段,本次投产的为增芯项目第一座晶圆厂一期。此前相关报道显示,增芯项目将在2024年实现“3月光刻机进场、6月通线、9月产品下线、12月交付客户”的阶段性目标。


近年来,广东省正在以智能传感器、模拟芯片等产品为突破口带动半导体产业发展,大力推进“强芯工程”建设,增芯项目的快速投产便是其中的缩影。


在传感器技术朝着微型化、集成化、模块化、智能化方向演进的当前,MEMS技术已成为一场必然的技术革命。


据Yole最新产业报道的数据显示,2023年中国大陆仅生产了约9万片MEMS晶圆,远远不足与北美、欧洲、日本等地区110万、75万的产量相提并论。而中国却有着在消费电子、汽车、自动驾驶、人工智能等产业市场下的广袤的需求。在国内积极推进产线建设的同时,也对本土MEMS企业在全球化市场中的竞争力提出更高要求。



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