目前, 国外在海洋传感器的产业化方面已经相当成熟, 产品性能也居于世界领先地位。国产海洋传感器技术研究虽已经取得了长足进步，部分指标甚至已达到国际先进水平, 但其产品的批量生产几乎空白, 业务应用更是严重依赖于进口，进口传感器几乎占据了我国海洋调查的“整壁江山”。

如何打破这一技术受困的局面，这家本土企业在三年多的潜心研发中迎来了重大进展。

近日，厦门市敬微精密科技有限公司（简称：敬微精密）基于MEMS工艺技术研制的CYH1454606型深海用压力传感器（以下简称CYH1454606型深海传感器）成功完成千米海试，各项指标比肩业界通用的进口传感器，实现卡脖子技术重大突破。

图1 CYH1454606型深海压力传感器固定在CTD架子（左）、ROV两侧（右）的示意图

通过搭载用户单位厦门大学的“嘉庚”号科考船，敬微精密对CYH1454606型深海压力传感器开展了为期一周的深海比测试验（图1）。嘉庚号是我国第一艘采用国外方案设计、国内转化详细设计，由高等学校拥有完全知识产权的海洋科学综合考察船。该船达到世界同类型科考船顶级水平，创下多项第一。

敬微精密深海比测对象为国际知名的温盐深剖面仪（CTD）。测试结果表明（图2），CYH1454606型深海压力传感器测量的压力值和变化趋势与进口传感器高度一致，重合度超过99.9%。这一成绩不仅证明了我们在深海压力传感器领域的技术实力，突破了“卡脖子”技术，也标志着我国自主研发的深海压力传感器达到了国际先进水平，未来有望在全球海洋技术竞争领域掀起新的波澜。

这一创新的突破，展现了敬微精密带头人和一流研发团队的卓越实力，也展现了他们对高端MEMS传感器的执着追求。据了解，公司创始人兼首席科学家、CTO系全球MEMS微加工领域顶尖专家，为50多家世界级科技企业提供精密微加工设备、微加工元件，代表性作品有SQUID量子超导传感器、柱列阵元件、高深宽比的小孔系列、燃料电池开发的元件等。

研发骨干来自德国哥廷根大学的理学博士、德国马克斯普朗克学会博士后、日本国立共同研究机构分子科学研究所JSPS博士后、中国科学院上海光学精密机械研究所硕士&博士、英国帝国理工的硕士以及英国诺丁汉大学、厦门大学和国内芯片传感器企业高端人才等。

图 2 数据测试结果和拟合结果（S1站位）

MEMS传感器是智能设备的关键组件，作为国家政策大力支持的自主可控传感器技术，在微型化、低功耗和高灵敏度等方面具有显著优势，能够在复杂的海洋环境中稳定运行。通过不断的研发投入和技术积累，敬微精密在基于MEMS技术制造的高端压力芯片传感器领域已经形成了强大的技术壁垒和竞争优势，已在深空、深海等关键领域突破卡脖子技术。随着海洋环境监测产业的蓬勃发展，敬微精密团队相信，宽温区、耐高压、高精度、高可靠性的高端压力芯片传感器关键技术将发挥更大的作用，推动我国海洋环境监测产业向更高水平迈进。

厦门市敬微精密科技有限公司简介：

厦门市敬微精密科技有限公司是由德国、日本归国科学家创办成立的企业，“双百计划”领军型人才创业企业（A类）。中国航空学会会员、中国传感器与物联产业联盟理事、厦门市集成电路协会会员单位。公司以创始人在海外三十多年积累的微加工和超精密加工方面的领先技术及经验，聚焦以MEMS为核心的微加工技术，攻克“卡脖子”核心技术，解决高端芯片传感器领域进口替代问题。

敬微精密是一家核心设备自己制造、关键工艺自己研发的高端MEMS芯片传感器公司，始终坚持以“传感器核心技术自主可控”为己任，依托自研设备和工艺结合优势，攻关耐高温、高精度、高可靠性的压力芯片传感器关键技术，解决长期制约我国航空航天、深海、核能石化和高端制船等领域的发动机压力测量“芯”的难题，以国际顶尖水平的超精密加工能力，集中做自主可控的高端MEMS压力芯片传感器为主，填补国内市场空白，实现高端领域“中国芯”的突破。