近日，位于英国剑桥的初创公司Flusso推出了新款流量传感器FLS110，尺寸仅为3.5 mm × 3.5 mm，号称是全球最小尺寸的MEMS流量传感器。

目前，流量传感器的目标应用主要包括：真空吸尘器、空调机组和其它消费类电器的有源滤波器监测，工业和家用气体检测产品及系统的管道堵塞检测，消费类和工业类应用的气泵监测与控制，以及如智能吸入器、健身监测面罩等便携式医疗设备。

Flusso的流量传感器利用了CMOS MEMS硅基平台，同时还具备额外的可编程性和可配置性。该流量传感器采用微电子技术进行封装和组装，可为每月数千万个部件的制造提供高性能和可扩展性。

该传感器在旁路结构中测量流量，测量范围较广，从0.001标准升/分钟到超过500标准升/分钟皆可涵盖。同时，该传感器可提供完全温度补偿信号。

根据应用需求、设计指南以及应用工程支持，Flusso提供的固件和软件可配置和定制不同的FLS110操作模式，以帮助客户缩短新产品的开发周期。

FLS110集成于6引脚DFN封装中，经回流焊，由自动产品组装线完成编带和卷盘后发货。

Flusso现已提供FLS110样品，并与产品评估套件一起提供。该产品将于2021年上半年开始量产。

关于Flusso

Flusso成立于2016年，由Florin Udrea教授（CamSemi、Cambridge CMOS Sensors、Cambridge Microelectronics以及Cambridge GaN Devices的联合创始人）、Julian Gardner教授（Cambridge CMOS Sensors和Sorex的联合创始人）、John Coull博士以及Andrea De Luca博士共同创立，公司所有传感器专家都具有丰富的半导体行业经验。

此外，Flusso邀请到对经营半导体初创公司具有丰富经验的企业家Robert Swann担任董事长，也邀请了前霍尼韦尔安全与生产力解决方案部门技术与合作副总裁Cleopatra Cabuz加入公司。

该公司曾于2020年6月获得570万美元的A轮融资，此轮融资旨在大规模生产Flusso号称全球尺寸最小的MEMS流量传感器。这轮融资由Parkwalk Advisors和Foresight Williams Technology EIS基金领投，24 Haymarket、Cambridge Enterprise、Martlet和Cambridge Angels等公司共同跟投。